工业平板电脑

CMP工艺：高端半导体制造的关键

化学机械抛光，简称CMP，在半导体制造中起着至关重要的作用。随着全球对集成电路集成化和小型化的要求不断提高，微芯片设计和制造的复杂度显著提高。在晶圆制造中实现高度重复性和一致性的一个重要关键是CMP工艺。CMP工艺使每个晶圆上的电子元件变得平整，这样当电子元件层叠在一起时，它们将被堆叠起来并精确对齐，从而形成平整的晶圆、精确的表面形貌。

及时性：众多机器中故障机器及时处理的困难

鉴于CMP是半导体制造技术中的一个关键过程，大多数晶圆厂都有一个CMP区域，该区域配备有执行该任务的特定机器。然而，制造商在管理CMP机器时经常会遇到一些常见的问题。其中之一就是及时性。当机器发生故障时，操作人员必须首先“发现”与其他众多机器排列在一起的出问题的机器；然后，他/她必须穿过长长的过道才能“到达”那台机器的控制装置。

这个过程听起来可能很简单，但以台湾半导体制造公司台积电（TSMC）为例。台积电晶圆18厂位于台湾南部科技工业园区，占地42公顷，厂房面积95万平方米，厂房面积16万平方米。由于fab的大小相当于25个标准足球场，要找到合适的机器并到达它需要花费太多的时间，这大大增加了机器的停机时间。

跨工厂管理效率低下：产能共享可能变成额外浪费

半导体制造商可能面临的另一个问题是跨工厂管理。例如，台积电在台湾新竹科技工业园区拥有多达五家晶圆厂，占地面积约587110平方米。这些晶圆厂的集群化旨在促进产能共享，从而最大限度地降低成本和提高晶圆产量。然而，跨不同晶圆厂的沟通和管理可能是间接和耗时的，浪费了芯片制造商额外的时间和精力。

更改内部设置？注意不相容性

人们可能想到的一个解决方案是改变这些CMP机器的电路或编程设置。然而，通过改变现有的电路或添加某些软件开发包，很可能会发生不兼容。这将导致CMP机器的不稳定性，以及昂贵、复杂的维护程序，这肯定是得不偿失的。为了解决这些问题，工业平板电脑厂家提供了一种采用I/O模块、串行设备服务器和自动化计算机的CMP监控系统解决方案。

高适应性I/O模块实现可靠的远程监控

在CMP监控系统中，远程I/O模块（如工业平板电脑厂家的智能-4117、智能-6217和智能-4055）与流量计和继电器相连，以检测来自每个CMP机器的信号。这些I/O模块具有很强的适应性，因为它们包含诸如简单布线、高兼容性、用户友好的状态读取以及直观的图形和图表等功能。CMP监控系统由于具有高度自适应的I/O模块，可以方便地实现工业自动化与企业系统的集成，不仅可以防止CMP机床内部结构的变化，而且可以灵活有效地监控半导体制造企业的机床状态。

工业平板电脑厂家的串行设备服务器将每台CMP机器纳入一个共享网络

然后通过工业平板电脑厂家的串行设备服务器（如智能-1522和智能-1524）收集数据。它们易于安装和配置，支持有线和无线网络，并提供各种操作模式以满足严格的工业自动化需求。在CMP监控系统中，他们将RS-485串行设备引入以太网和Modbus-TCP，保证了网络的稳定性。现在，每个CMP机器都可以连接和共享一个以太网；此外，由于串行设备服务器的帮助，这些机器现在可以相互点对点通信，而无需任何中间主机和软件编程。最后，数据被收集并存储在智能-2178A嵌入式自动化计算机中，用于监控、管理和维护。

工业平板电脑厂家，可靠的模块和可靠的服务团队

通过采用外部模块和器件，半导体制造商不再需要担心不兼容和潜在的机器不稳定。通过提供全面实时数据的集中显示，操作员可以及时赶到现场、当然也可以跨工厂解决机器问题，从而最大限度地减少停机时间，从而最大限度地提高生产率。此外，工业平板电脑厂家还为系统提供专门的服务团队，以便制造商清楚地知道需要何时向谁寻求帮助，以及定期向谁寻求维护服务。通过提供综合监控系统和全面的售后服务，制造商可以专注于开发和生产，同时工业平板电脑厂家协助确保设备满负荷运行。