工业平板电脑

在平板制造过程中，步进机是将掩模图形转移到玻璃基板上的关键设备，其工艺参数的准确性直接影响到最终产品的质量。

然而，步进电机在长时间运行后，参数容易发生变化。如果没有一个实时反馈系统来对工艺参数作出反应，一天24小时不间断生产面板的制造商将忙于解决诸如返工缺陷或暂停生产以排除故障等问题。

此外，虽然步进电机可以设置测量仪器来检测信号和参数，但这些示波器只能以图像的形式提供波形数据，不适合用户进行参数分析和过程优化。如果广泛安装在制造厂，昂贵的测量仪器也将大大增加制造成本。

工业平板电脑厂家的解决方案包括软件和硬件，为步进电机提供实时过程参数监控。面板生产企业拥有精确的数据采集卡、稳定的工控机、无需编码的监控软件，可以安装高性价比的实时监控系统，尽快发现参数变化，提高产品良品率和生产效率。

系统要求

为了在竞争激烈的市场中保持一定的份额，一家世界排名前五的知名面板巨头一直在努力提高产品良品率，同时控制生产成本。最近，公司正在考虑优化光刻工艺管理，以提高产品竞争力。

面板制造商的步进机参数监控一直存在时差问题。主要原因是步进电机供应商提供的信号测量仪器价格昂贵，因此该工厂仅为其几十台步进电机安装了一个测量装置。员工只在更换不同产品的生产线时调整和监控参数。

由于在生产过程中无人监控，因此在此期间发生的任何参数变化往往会被忽略，直到成品或半成品检验。结果总是有许多缺陷需要再加工或报废，增加了制造成本。如果延迟交货，公司的声誉甚至可能受到严重影响。

考虑到测量仪器价格昂贵，面板制造商决定购买软硬件自行搭建实时监控系统，以降低成本。该系统通过步进传感器捕捉影响过程的关键参数，通过不断的监测，更快地发现参数变化问题。

系统描述

为了简化采购和评估过程，并确保软件和硬件之间的兼容性，公司倾向于同时提供这两种软件和硬件的供应商。所需的软件/硬件必须符合以下标准：

●简单的数据可视化软件，支持系统设计人员的开发工，加速开发实现。

●将捕获的数据显示为波形图像，所有通道数据在同一个图中。

●提供上、下限报警设置和发送功能，及时通知任何参数异常。

●每天将数据上传到数据库，供上级IT系统分析，以改进生产流程。

●多通道数据采集卡，用于采集来自每个步进电机的40个信号。

●1000S/s采集速率，确保数据准确性。

●紧凑型工业计算机，适合有限的现场安装空间

项目实施

工业平板电脑厂家提供三款产品（达克纳维/MCM机床状态监测软件、智能-747U高通道数模拟量输入智能卡、麦克-750无风扇工控机）满足项目工艺参数实时监测要求。

该解决方案的工作原理是在生产线步进器旁边安装麦克-750，其中包含达克纳维/MCM和智能-747U，在那里可以快速、连续地收集传感器信号。数据临时存储在计算机中，可以根据需要每天上传到数据库中，面板厂的工艺管理系统可以使用这些数据进行分析。将计算收集的数据，并将影响过程的关键参数显示为波形。然后，管理人员可以将数据与预设的报警限值进行比较，了解参数是否发生了变化，通知生产线及时调整。

整个解决方案的核心产品是达克纳维/MCM，它允许用户在不编码的情况下采集和分析传感器信号，并将数据显示为动态波形，就像示波器一样。用户还可以根据自己的需求选择可视化数据的呈现方式。例如，在这个项目中，为了便于监控，所有通道数据都在同一个图像中。此外，光标测量工具可以标记鼠标光标位置的测量值，帮助管理者观察信号变化。

达克纳维/MCM的特征提取功能提供了各种数据预处理算法，可以将大量数据转换成有用的信息。例如，此项目需要最大值、平均值和最小值来设置报警限值，但工程师可以通过软件配置轻松完成此任务。软件还主动发出通知，通知管理人员异常情况。

除了可视化数据外，达克纳维/MCM还提供数据存储、搜索、比较和回放显示功能，帮助进行过程优化分析。解释功让用户的程序能简单的通过逻辑表达式，为进一步决策与提取特征值提供依据。

在硬件方面，智能-747U-AE提供的64个通道足以满足本项目采集的40个信号。高达250ks/s的采样率还可以重建更精确的波形，减少失真。麦克-750拥有高性能处理器，可提供充足的计算性能。其紧凑的设计占用空间小，便于安装在空间有限的地方。工业平板电脑厂家 i-模块和智能门技术支持灵活的i/O接口扩展。在这个项目中，麦克-75M11模块被选为额外的智能插槽来安装数据采集卡。

●达克纳维/MCM：机器状态监测软件

●智能-747U:250 kS/s，16位，64通道模拟输入通用智能卡

●麦克-750:Intel第6代Core i处理器紧凑型无风扇系统

结论

面板制造商在引入过程管理改进实时监控系统时，必须注意选择解决方案。如果软件和硬件产品是从不同的供应商购买的，则兼容性测试需要额外的实施时间。此外，即使在实施之后，如果今后出现系统问题，弄清供应商之间的问责制也很难。

工业平板电脑厂家的面板式步进机实时监控解决方案是一种高性价比的综合解决方案，它提供了从基本信号采集到数据计算和上传等所有必要的软硬件。该方案不仅能准确地捕获信号，而且该项目可以在短时间内建立，只需几步即可，且使用方便的达克纳维/MCM，易于应用于其它设备的批量实现。

在完成概念证明（PoC）后，项目客户经理介绍了工业平板电脑工厂的解决方案，适用于所有光刻机，甚至在台湾的三家面板工厂复制了该应用。随着实时光刻工艺参数的监控和管理，面板制造的良品率和效率都有了显著提高。